機(jī)器視覺檢測的非接觸性、連續(xù)性、經(jīng)濟(jì)性和靈活性等優(yōu)點(diǎn)使人們有了更好的選擇。人工檢測正逐漸被機(jī)器視覺檢測所取代。機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測，主要是通過模式匹配定位實(shí)時(shí)捕獲的圖像，對(duì)圖像進(jìn)行分析處理，獲得圖像的各種參數(shù)，并與預(yù)設(shè)的檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較，判斷圖像是否合格。

與人工檢測相比，機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體外觀檢測具有以下優(yōu)點(diǎn)。

1.非接觸

機(jī)器視覺檢測作為一種的檢測設(shè)備，通過對(duì)物體圖像的分析和處理來測量物體。測量過程中不需要接觸，所以對(duì)被測物體沒有磨損和危險(xiǎn)，實(shí)現(xiàn)了無損檢測。

2.連續(xù)性

機(jī)器巡檢系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)很明顯，因?yàn)槿耸怯懈星榈模瑫?huì)努力，把人當(dāng)機(jī)器是不靠譜的。與人眼相比，機(jī)器不僅不會(huì)疲勞，還具有人所不具備的一致性和可重復(fù)性，可以長時(shí)間不間斷運(yùn)行。此外，由于沒有人類操作員，沒有人為的操作變化，可以設(shè)置多個(gè)系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行。

3.準(zhǔn)確

近年來，由于芯片封裝小型化，生產(chǎn)越來越復(fù)雜，但生產(chǎn)率越來越高，加上各種新型元器件的大量使用，僅靠人眼已經(jīng)無法保證半導(dǎo)體芯片封裝和流水線的質(zhì)量和效率。長期以來，檢測的速度和精度是制約芯片生產(chǎn)率和質(zhì)量進(jìn)一步提高的瓶頸。如何以與封裝生產(chǎn)相匹配的速度實(shí)現(xiàn)在線檢測，一直是半導(dǎo)體廠商最關(guān)心的問題。檢測的速度和精度是機(jī)器視覺檢測的明顯優(yōu)勢(shì)，日新月異的機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)正在取代人進(jìn)行自動(dòng)化的產(chǎn)品檢測。

4.經(jīng)濟(jì)

　　隨著視覺檢測技術(shù)的逐漸成熟和加工硬件價(jià)格的降低，機(jī)器視覺檢測的經(jīng)濟(jì)性逐漸顯現(xiàn)。機(jī)器視覺檢測系統(tǒng)可以取代許多人工檢測人員。此外，機(jī)器視覺檢測的一般運(yùn)維成本相對(duì)較低。

5.可量測性

機(jī)器視覺系統(tǒng)可以進(jìn)行各種測量。機(jī)器視覺系統(tǒng)比光學(xué)和機(jī)器傳感器具有更好的適應(yīng)性、多樣性、靈活性和可重構(gòu)性。當(dāng)檢測過程需要改變時(shí)，機(jī)器視覺系統(tǒng)的“換刀”只是更新軟件，而不是升級(jí)昂貴的硬件。生產(chǎn)線重組時(shí)，機(jī)器視覺系統(tǒng)往往可以保留下來，繼續(xù)使用。